| 一種薄型模態(tài)轉(zhuǎn)換型微超聲波電機(jī)
摘要：設(shè)計(jì)了一種新型的超薄型微超聲波電機(jī)，該微電機(jī)定子是一個帶有4個剁齒的扁網(wǎng)環(huán)，在交流電壓的激勵F同環(huán)做駐波振動，4個斜肯將徑同振動轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，屬于模態(tài)轉(zhuǎn)換型。此種電機(jī)定了厚度小，適合采用傳統(tǒng)的線切割加工，加工要求低。加工出來的定子尺寸僅6 5mm×6mm，厚1mm。電機(jī)的T作頻率為50 5kHz，在激勵電壓為300vpp時，空載轉(zhuǎn)速為320rmin，堵轉(zhuǎn)力矩為5 5uNm。
關(guān)鍵詞：超聲波電機(jī)；薄型；模態(tài)轉(zhuǎn)換
0引言
隨著MEMs技術(shù)發(fā)展，毫米jt度的超聲微電機(jī)以其高能量／體積比密度，輸出低速大力矩，不需減速機(jī)構(gòu)以及結(jié)構(gòu)簡單等特點(diǎn)逐漸成為該領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。從結(jié)構(gòu)和lⅢl_藝方法上，這種超聲旋轉(zhuǎn)微電機(jī)分類如圖l所示。
超盧旋轉(zhuǎn)微電機(jī)、棒形彎曲搖頭微電機(jī)<棒形彎曲搖頭行波微電機(jī) |
